· 2016年

 

 

· 2019年

 

 

· 2018年

 

 

·2021年

 

 

· 2022年

 

 

·2020年

 

 

·2024年

 

 

· 2025年

 

 

· 2023年

 

 

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发展历史

Development History

·2005年

 

UPAM公司正式成立

· 2008年

 

组建核心研发团队。

· 2009年

 

成为中微公司国产化供应商。

· 2014年

 

为北方华创开发刻蚀设备用的关键涂层零部件,填补国内空白。

· 2016年

 

成为中芯国际刻蚀机腔体涂层供应商,助力14nm工艺量产。

· 2020年

 

助力中微公司5nm等离子体刻蚀机量产。

· 2022年

 

成立眉山超纯应用材料科技有限公司。

· 2023年

 

成为北方华创战略合作伙伴。

· 2024年

 

成立龙瓷特种陶瓷材料中试平台-成都龙瓷科技有限公司。

·2025年

 

UPAM总部基地正式开工建设。