· 2016年
· 2019年
· 2018年
·2021年
· 2022年
·2020年
·2024年
· 2025年
· 2023年
荣誉和获奖
Honors and Awards
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发展历史
Development History
·2005年
UPAM公司正式成立
· 2008年
组建核心研发团队。
· 2009年
成为中微公司国产化供应商。
· 2014年
为北方华创开发刻蚀设备用的关键涂层零部件,填补国内空白。
成为中芯国际刻蚀机腔体涂层供应商,助力14nm工艺量产。
· 2020年
助力中微公司5nm等离子体刻蚀机量产。
成立眉山超纯应用材料科技有限公司。
成为北方华创战略合作伙伴。
· 2024年
成立龙瓷特种陶瓷材料中试平台-成都龙瓷科技有限公司。
·2025年
UPAM总部基地正式开工建设。