Innovation Never Ends
关于我们
ABOUT US
成都超纯应用材料股份有限公司(UPAM)成立于2005年,公司现有员工近400人,致力于半导体设备特殊涂层零部件、精密光学器件和特种材料的研发和生产。
UPAM拥有特殊涂层及其关联技术、特殊涂层材料及陶瓷材料制备技术等关键技术,属于半导体零部件制造行业,产品应用于半导体前道设备及晶圆厂,是国内规模化出货前道设备核心部件的厂商。
产品与服务
Products and Services
概览
UPAM致力于研发和生产半导体核心零部件,提供高价值定制化服务。
产品
UPAM产品覆盖光刻、刻蚀、外延、扩散、退火等前道工艺,提供关键零部件产品的一体化供应。
服务
UPAM以交钥匙(Turn-Key)的管理方式,致力于为客户提供高价值、量身定制的服务解决方案。
公司历史上的里程碑
Milestones in the history of the company
2005年
UPAM公司正式成立。
2008年
锁定特殊涂层工艺相关技术作为研究方向。
2011年
成为中微公司国产化供应商。
2016年
为北方华创开发刻蚀设备用的关键涂层零部件,填补国内空白。
2019年
中微半导体设备(上海)股份有限公司(AMEC)于2019年颁发“供应商奖”。
2020年
助力中微公司5nm等离子体刻蚀机量产。
2022年
成为北方华创战略合作伙伴。
2024年
成为北方华创金牌供应商。
同年,建成投产的全资子公司:眉山超纯应用材料科技有限公司,以 5nm先进制程半导体器件为研发和生产的基地,正式投产运营。
2025年
UPAM总部基地,位于成都怡心湖畔,占地约50亩,筹备开工建设。